哪些地方会使用到特种气体

2020-08-13 15:24:33

  电子行业常用的特种气体有30多种,按风险性质可分为可燃、不可燃气体等。按物理形态可分为压缩、液化和低温气体。特种气体主要集中在集成电路制造、太阳能电池、复合半导体、液晶显示器和光纤消费四大领域。

哪些地方会使用到特种气体

  其中,它主要用于半导体集成电路的消费制造。半导体工业中使用的特种气体有110多种,其中常用的有20~30种。就集成电路制造应用而言,包括集成电路芯片制造工艺、化学气相沉积与气体应用、蚀刻与气体应用、掺杂与气体应用。

  在太阳能电池应用方面,包括太阳能电池应用、气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面,包括化合物半导体应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。

  上述介绍可见,特种气体的应用行业还是比较广泛的。