高纯气体工艺设备起到较大的作用

　　高纯气体系统由专用气体设备、气体检测传感系统、自动控制及软件系统、燃气管道阀门等组成。系统前端连接该气体供应装置，系统终端连接采购的工艺生产设备顾客。

　　专用储气罐能安全、稳定地将高纯气体通过专用气体管道输送至终端设备，同时保证高纯气体不因气体和水分的吸附、脱气等而受到污染，保证气体的纯度，使气体满足生产工艺纯度要求。

　　自动特种气体柜(GC)采用PLC作为控制主体，配合触摸屏进行系统显示和设置，在紧急情况下(当设定的报警信号被触发时)可实现自动吹扫、自动切换、自动安全切断等功能，具有完善的功能和报警监控功能功能。也可根据不同的气体特性和用气要求配置不同的面板设计，以满足不同行业的需要，保证工厂的正常生产和员工的人身安全。

　　SEMI S2是半导体工艺设备供应商规定的基本健康和要求的安全标准。遵守SEMI S2不仅符合相关国际法规，也是半导体行业保险公司要求的要条件之一。

　　综上所述，在高纯气体工艺中，这种电子特种气体设备专用气体柜在功能设计和使用标准上是值得信赖的。