高纯气体管道选择指南

2020-03-14 13:54:13

  高纯气体管道是其供应系统的重要组成部分。从系统设计、管件及附件的选择、施工安装等方面入手,将合格的高纯气体送至使用点,保持合格的质量是关键,这其中包括管道选择等多个内容。

高纯气体管道选择指南

  半导体技术是20世纪以来重要的技术之一。半导体制造技术贯穿于提供高纯度气体、精炼原硅、制造晶圆、封装和测试集成电路的全过程。以高性能、低成本为目标,向高密度、高集成度高速发展,对气体杂质含量的限制更加严格。道路输配电系统已变得非常必要和重要。

  例如,集成电路厂的生产线宽0.18um,直径200mm。高纯气体中各种杂质的控制水平为10xl0-9。

  有望很快实现纳米级线宽,气体杂质H20、O2、CO、CO 2、TH C等含量均低于10-12级(每级)。这种高纯度的气体是通过管道输送的。高它能否送至用气点并保持合格质量,关键是供气系统的合理设计、管件及附件的正确选择、施工安装的正确性、检测的合格性。

  供气系统:

  一般来说,高纯气体供应系统有三种主要形式:

  一、现场产气、管道供气;

  二、外购液化气,气化后通过管道供气;

  三、外购气瓶,用气瓶(组)供气。

  某一项目的具体方法是根据工厂的生产规模和高纯气体用气量、气体质量、工厂所在城市或地区的天然气市场供应等因素进行技术经济比较后确定的。