关于特种气体的一些概述

2021-02-22 16:38:26

  电子工业是在高科技产业推动科学技术发展的,如今,由于所用气体种类繁多,质量要求高,对于气体的应用有着不同于其他领域的特点,人们称这种气体在电子工业中的应用统称为电子特种气体,它是电子专用气体高技术含量、高投入、高附加值的高新技术产业的兴起。

  这类气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示、光纤生产四个领域,主要用于半导体集成电路的生产制造。半导体工业中使用的单位特种气体有110多种,其中常用的有20~30种。

  在集成电路制造应用方面,具体包括集成电路芯片制造工艺、化学气相沉积与气体应用、刻蚀与气体应用、掺杂与气体应用;

  特种气体在太阳能电池的应用中,具体包括太阳能电池的应用、薄膜太阳能电池的生产工艺及气体应用;在化合物半导体的应用中,具体包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED的生产工艺以及气体应用。液晶显示器的应用包括TFT/LCD应用、TFT/LCD生产工艺和气体应用。在光纤应用方面,包括光纤应用、光纤预制棒生产技术和气体应用。