高纯气体输送系统整体解决方案

2020-04-25 17:20:43

  高纯气体管道技术是供应系统的一个重要部分,是将符合要求的输送到供气点,并保持合格质量的关键技术。这包括系统正确设计,管件及附件的选择、施工安装、试验检测。

高纯气体输送系统整体解决方案

  如何避免系统在输送过程中对高纯气体造成二次污染,已成为其中一个值得考虑的问题。此外,泛半导体工业中使用的各种特殊气体通常具有易燃、易爆、剧毒、腐蚀、窒息等多种危险特性。同时,由于泛半导体行业工艺复杂先进,对该气体的质量保证和系统的稳定运行提出了严格要求。

  因此,在设计、安装和运行中,须充分考虑洁净度、稳定性等关键因素。系统投运前,高纯气体输送系统须通过压力试验、氦气泄漏试验、增湿试验、增氧试验、粒度增加试验,保证系统的高清洁度和高安全性。

  高纯气体输送时有着不同的解决方案,主要有:散装气体供应系统、 净化系统、气体泄漏检测系统等。