氦气质谱检漏的常用方法

　　当样品的密封面泄漏时，泄漏气体中的氦气和其他成分将从泄漏物中泄漏出来。泄漏气体进入氦质谱仪后，由于氦质谱仪具有选择性识别能力，那么氦气质谱检漏的常用方法是什么呢?下面就为大家简单介绍。

　　正压法主要用于大容量，高压密封容器产品的泄漏检测，例如高压氦气瓶和舱口泄漏检测器，正压法是一种无辅助真空系统，可以在任何工作压力下准确定位并完成泄漏检测，但是该方法的检测灵敏度低，检测结果不确定。

　　背压法主要用于各种电子元件的泄漏检测，该方法灵敏度高，可用于小型密封容器产品的泄漏检测。但是，大的密封容器不能泄漏，否则，由于密封腔的尺寸大，加压时间过长，此外，每个测得的泄漏率对应于两个等效的标准泄漏率，精度检查完成后，应使用其他方法进行粗略检查，以消除大面积泄漏的可能性。

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