怎样安全输送高纯气体
发布时间:2020-06-20浏览次数:12686
说到高纯气体,它在很多行业中发挥作用还是比较大的,该管道技术是供气系统的一个重要组成部分,是将合格的天然气输送到供气点。这包括系统的正确设计、管件和附件的选择、施工和安装、测试和检验。
如何避免高纯气体在输送过程中所带来的一些污染,已成为值得考虑的问题之一。
此外,泛半导体工业中使用的各种特殊气体通常具有多种危险特性。同时,由于泛半导体行业工艺复杂先进,对气体质量保证和系统稳定运行提出了严格要求。
因此,在设计、安装以及运行时候,就要充分考虑高纯气体清洁度、稳定性等关键因素。系统投运前,须通过压力试验、氦气泄漏试验、加湿试验等多种类型的试验,保证系统的高清洁度以及高安全性。
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